世界一流的AlN/AlGaN外延模板
得益于長達十年的高溫MOCVD外延生長經驗，尤其擅長AlN及Al組分高于0.4的AlGaN的外延生長及n型摻雜
AlN模板
2英寸，XRC (002/102) ≤ 80/400 arcsec，厚度均勻性（5%），AFM RMS（＜1nm），厚度1~3um可調
AlGaN模板
基于高質量AlN模板的原位生長AlxGa1-xN模板，Al組分0.4~1可調，n型摻雜激活濃度≥3e18 cm-3
| 產品型號 | 產品類別 | 產品圖片 | 晶體質量 (002) | 晶體質量 (102) | 外延層厚度 | 表面粗糙度 | 邊緣扣除 | 規(guī)格書 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| WAlN-SA400 | Sapphire/AlN外延片/模板 |  |
≤ 80 arcsec | ≤ 400 arcsec | 2~3 μm | ≤ 1 nm | ≤ 3 mm |
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| WAlN-NS400 | NPSS/AlN外延片/模板 | |
≤ 200 arcsec | ≤ 200 arcsec | ≥ 5 μm | ≤ 1 nm | ≤ 3 mm |
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| WAlN-SC001 | SiC/AlN外延片/模板 |  |
50~5000 nm |
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| WAGN-AN001 | AlGaN外延片/模板 | |
≤ 300 arcsec | ≤ 500 arcsec | 1~2 μm | ≤ 2 nm | ≤ 3 mm |
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