某些物質具有使其能夠吸收特定波長的紫外線的性質，并且可以通過照射紫外光并測量透射的光量來獲得氣體中的濃度。該原理用于臭氧分析設備，也用于TOC（總有機碳），蛋白質，SOx，NOx，氯等，并且可以使用類似的原理進行分析。

為了分析這些物品，通常使用UV汞燈。但是，在尺寸和電壓方面存在各種限制。通過在該分析設備中使用深紫外LED，可以實現小型化和低功耗。